xy軸精密大理石直線電機定位平臺,采用無鐵芯直線電機和SP級交叉滾子導軌,全套雷尼紹光柵,檢測精度0.1um,多應用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光3D熔覆加工等各種高精密制造檢測。
重復定位精度:±0.001mm
絕對定位精度:±0.004mm
XYZ三軸行程:X500mm/Y500mm/Z200mm
非標定制產品,配置價格請咨詢!
*絕對定位精度需通過軟件修正。
Tips:絲桿模組行程超過750mm時,會產生螺桿偏擺,此時請將降低速度;最高速度是以伺服馬達最高轉速3000RPM以下為基準;馬達加減速設定為0.2s。
注意:限于文件大小和數量限制,高清產品手冊PDF版及完整的產品3D模型STEP文件,請聯系我司業務人員獲取,給您帶來不便敬請諒解!
XYZ三軸高精密大理石直線電機平臺,采用無鐵芯直線電機和SP級交叉滾子導軌,全套雷尼紹光柵,檢測精度0.1um,多應用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等各種高精密制造檢測。
XYZ三軸行程:X500mm/Y500mm/Z200mm(客戶定制)
重復定位精度:±0.001mm
絕對定位精度:±0.004mm
應用行業:晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光3D熔覆加工等;
*絕對定位精度需通過軟件修正。
*Z軸采用直線電機配恒力彈性裝置,保證Z軸斷電保護。