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  • 三軸精密運動平臺

三軸精密運動平臺

  • 一款直驅三軸精密運動臺,XY軸十字疊層三片式結構,配備自潤滑的精密滾柱導軌,承重大、精度高、剛性好等特點,R軸轉臺結構扁平薄,可360度旋轉,采用光柵閉環反饋和防塵設計。用于晶圓切割、激光加工、測試測量、電子元件組裝及檢驗等領域。

  • 產品參數

    Tips:絲桿模組行程超過750mm時,會產生螺桿偏擺,此時請將降低速度;最高速度是以伺服馬達最高轉速3000RPM以下為基準;馬達加減速設定為0.2s。

  • 注意:限于文件大小和數量限制,高清產品手冊PDF版及完整的產品3D模型STEP文件,請聯系我司業務人員獲取,給您帶來不便敬請諒解!

應用領域:

一款直驅三軸精密運動臺,帶旋轉功能用于晶圓切割、激光加工、測試測量、電子元件組裝及檢驗等領域。


結構特點:

XY軸十字疊層三片式結構,底軸寬度約是上軸長度的2/3,移動到極限位置時,防止重心不穩定。配備自潤滑的精密滾柱導軌,承重大、精度高、剛性好等特點。R軸轉臺結構扁平薄,三軸疊層后降低工作點的高度,可360度旋轉,用于角度調整,是晶圓切割加工應用的理想選擇。


精度性能:

采用光柵閉環反饋,考慮材料的熱膨脹影響,加工工藝和裝配工藝等,使XY軸重復定位精度≤±0.4μm,全行程直線度±1μm和平面度±1.25μm,R軸微動步距1arc sec。


防塵管理:

精密運動臺的防塵設計,有效防止碎片、灰塵和顆粒等異物進入直線臺,影響使用壽命,同時不受防塵罩擾動力的影響。


定制化:

根據應用可選擇多種行程、定制高加速度提升生產效率等;可配置大理石立柱、橫梁、支撐鋼架整套系統方案。


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