應用領域:
一款直驅三軸精密運動臺,帶旋轉功能用于晶圓切割、激光加工、測試測量、電子元件組裝及檢驗等領域。
結構特點:
XY軸十字疊層三片式結構,底軸寬度約是上軸長度的2/3,移動到極限位置時,防止重心不穩定。配備自潤滑的精密滾柱導軌,承重大、精度高、剛性好等特點。R軸轉臺結構扁平薄,三軸疊層后降低工作點的高度,可360度旋轉,用于角度調整,是晶圓切割加工應用的理想選擇。
精度性能:
采用光柵閉環反饋,考慮材料的熱膨脹影響,加工工藝和裝配工藝等,使XY軸重復定位精度≤±0.4μm,全行程直線度±1μm和平面度±1.25μm,R軸微動步距1arc sec。
防塵管理:
精密運動臺的防塵設計,有效防止碎片、灰塵和顆粒等異物進入直線臺,影響使用壽命,同時不受防塵罩擾動力的影響。
定制化:
根據應用可選擇多種行程、定制高加速度提升生產效率等;可配置大理石立柱、橫梁、支撐鋼架整套系統方案。
本文關鍵詞: 精密運動平臺