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  • 半導體精密運動平臺

半導體精密運動平臺

  • 半導體精密運動平臺XY軸采用直線電機驅動,滑塊滾柱導軌導向及光柵尺閉環反饋組成,R軸直驅電機驅動可實現360°旋轉,Z軸布置于平臺大理石橫梁,常用于半導體精密制造及檢測。

  • 產品參數

    Tips:絲桿直線模組行程超過750mm時,會產生螺桿偏擺,此時請將降低速度,詳情參數及選型建議咨詢業務人員。

半導體精密運動平臺XY軸采用直線電機驅動,滑塊滾柱導軌導向及光柵尺閉環反饋組成,R軸直驅電機驅動可實現360°旋轉,Z軸布置于平臺大理石橫梁,常用于半導體精密制造及檢測。

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